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Im Allgemeinen treten bei der Untersuchung von, im Sinne der EDX-Analyse hinlänglich „dicke“ Proben (d.h. Proben- bzw. Schichtdicke größer als 50 µm), die geringsten Probleme auf und man kann bei Messungen meist mit den Standardeinstellungen der EDX-Systeme arbeiten. Voraussetzung ist eine gute elektrische Leitfähigkeit der Probenoberfläche und eine gleichmäßige Verteilung der in der Probe enthaltenen Elemente:
- Beschleunigungsspannung des REM’s (Anregungsspannung für die Spektrenaufnahme): 20 kV
- Spektrenbereich: 0 – 20 keV
- Prozeßzeit: 50 – 100 µs
- Strahlstrom des REM’s so wählen, dass sich beim EDX-System eine Totzeit von ca. 30 % einstellt (das entspricht in Abhängigkeit t vom vorhandenen Detektortyp einer Zählrate von 1000 bis 20.000 cps)
- Spektrenaufnahmezeit: mind. 60 s
- Standardfreie Quantitative Analyse