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Für die Rasterelektronenmikroskope werden auch „Schottky-Emitter“ als thermische Feldemissionskathode verwendet. Dabei wird auf einer Wolfram Kathode eine Wolfram-Einkristallspitze aufgebracht, welche mit einer Zirkonoxid (ZrO)-Schicht bedampft wurde. Da das ZrO die Austrittsarbeit der Elektronen erniedrigt, reicht eine Aufheizung der Kathode auf ca. 1500°C damit sich ein Elektronengas an der Kathodenspitze bildet. Durch die Aufheizung bildet sich eine einzelne Kristallfacette an der Spitze, so dass die Elektronenemission auf einen sehr kleinen Bereich beschränkt wird.
Die Kathode sitzt in einem „Supressor“ (Wehnelt), der auf einer negativen Spannung liegt und den Austritt von Elektronen aus dem Wolframdraht verhindert. Der Extraktor saugt die Elektronen mit einigen kV an, welche dann durch die Beschleunigungsspannung zwischen Extraktor und Anode beschleunigt werden und den Elektronenstrahl bilden.