Für die Standardfreie EDX ist eine Korrektur der aufgenommenen Intensitätsverhältnisse notwendig. Durch die Korrektur ist es möglich auf die tatsächliche Zusammensetzung des Materials zu schließen, hier sind hauptsächlich 3 Korrekturen notwendig:
- Atomnummerkorrektur Z
- Absorptionskorrektur A
- Fluoreszenzkorrektur F
Z Ordnungszahl-Korrektur
Der Korrekturfaktor bestimmt die Zahl der Ionisationen pro eingestrahltem Elektron und den Anteil an Rückstreuelektronen, welche aus der Probe austreten ohne Röntgenquanten erzeugt zu haben.
A Absorption
Durch Wechselwirkung mit Festkörperatomen wird ein Teil der erzeugten Röntgenstrahlung absorbiert; der Intensitätsverlust ist von dem in der Probe zurückgelegten Weg und dem Massenschwächungskoeffizienten des Targetmaterials abhängig. Φ(ρz) beschreibt die Verteilung der in der Probe erzeugten Röntgenstrahlung mit der Massentiefe.
F Fluoreszenz
Die Sekundäranregung durch charakteristische und kontinuierliche Fluoreszenz wird in einem gemeinsamen Korrekturfaktor zusammengefasst.
Die heute angewandte Korrekturmethode zur Ermittlung der Elementzusammensetzung ist P/U- ZAF. Hierbei wird mit Hilfe der Peak zu Untergrund Korrektur gearbeitet.