07
Nov Die Ionengetterpumpe (Ionenzerstäuberpumpe) ist eine Sonderform der Sorptionspumpe, bei der die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt werden; dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Read more