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I Ö R T V
07
Nov

Ionengetterpumpe

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Die Ionengetterpumpe (Ionenzerstäuberpumpe) ist eine Sonderform der Sorptionspumpe, bei der die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt werden; dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Read more
07
Nov

Öldiffusionspumpen

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Bei der Öldiffusionspumpe expandiert ein Treibdampfstrahl mit Überschallgeschwindigkeit durch eine Düse und gibt dem zu pumpendem Gas (1) eine Vorzugsrichtung. Hieraus ergibt sich eine Druckdifferenz. Read more
07
Nov

Rotationsvakuumpumpe

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Eine klassische Drehschieberpumpe besteht aus einem Hohlzylinder (Stator), in dem ein weiterer Zylinder (Rotor) rotiert. Die Drehachse des Rotors ist dabei exzentrisch zum Stator angeordnet, der Rotor berührt die Innenwand des Stators zwischen Einlass- und Auslassöffnung und trennt so Saug- und Druckraum voneinander. Read more
07
Nov

Turbomolekularpumpen

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Das Prinzip der Molekularpumpe beruht darauf, dass die einzelnen abzupumpenden Gasteilchen durch Zusammenstöße mit den schnell bewegten Flächen eines Rotors einen Impuls in Förderrichtung erhalten. Jede Stufe einer Turbomolekularpumpe besteht aus einem Schaufelringpaar, d.h. einem Stator und einem Rotor, die auf ihrem Umfang mit Schaufeln bestückt sind. Die gesamte Pumpe besteht aus einer Vielzahl hintereinander geschalteter Stufe. Read more
07
Nov

Vakuumsystem

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Die für die Funktion eines Rasterelektronenmikroskops notwendigen Bedingungen zur Erzeugung und Formierung eines Elektronenstrahls und Detektoren, die zur Bilderzeugung eine Hochspannung benutzten, setzen ein Hochvakuum in Säule und Probenkammer voraus, das besser als 10-2 Pa (10-4 mbar) sein muss. Read more
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