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08
Nov

Penning-Messröhre – Ionisationsvakuummeter

Categories: Allgemein
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Bei Ionisationsvakuummetern wird ein Teil des Restgases im Messraum durch Elektronenstöße ionisiert. Die erzeugten Ladungsträger geben ihre Ladung an die Messelektrode des Systems ab. Der so erzeugte Ionenstrom ist ein Maß für den Druck. Da diese Geräte den Druck über die Teilchenanzahldichte bestimmen, erhält man eine gasartabhängige Druckanzeige. Read more
07
Nov

Turbomolekularpumpen

Categories: Allgemein
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Das Prinzip der Molekularpumpe beruht darauf, dass die einzelnen abzupumpenden Gasteilchen durch Zusammenstöße mit den schnell bewegten Flächen eines Rotors einen Impuls in Förderrichtung erhalten. Jede Stufe einer Turbomolekularpumpe besteht aus einem Schaufelringpaar, d.h. einem Stator und einem Rotor, die auf ihrem Umfang mit Schaufeln bestückt sind. Die gesamte Pumpe besteht aus einer Vielzahl hintereinander geschalteter Stufe. Read more
07
Nov

Vakuumsystem

Categories: Allgemein
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Die für die Funktion eines Rasterelektronenmikroskops notwendigen Bedingungen zur Erzeugung und Formierung eines Elektronenstrahls und Detektoren, die zur Bilderzeugung eine Hochspannung benutzten, setzen ein Hochvakuum in Säule und Probenkammer voraus, das besser als 10-2 Pa (10-4 mbar) sein muss. Read more
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