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Im Allgemeinen treten bei der Untersuchung von, im Sinne der EDX-Analyse hinlänglich „dicke“ Proben (d.h. Proben- bzw. Schichtdicke größer als 50 µm), die geringsten Probleme auf und man kann bei Messungen meist mit den Standardeinstellungen der EDX-Systeme arbeiten. Voraussetzung   ist    eine    gute   elektrische    Leitfähigkeit   der   Probenoberfläche    und   eine gleichmäßige Verteilung der in der Probe enthaltenen Elemente: Read more