Bei modernen Geräten erfolgt die Steuerung des digitalen Rastergenerators (Scangenerators) durch den Steuerrechner des REM. Dem Rastergenerator ist ein Verstärker nachgeschaltet, in dem durch die Änderung der Spannungen in Ablenkspulen die gewünschte Vergrößerung (Verkleinerung des Rasterfeldes) erreicht wird.
Über eine spezielle Schnittstelle kann der Rastergenerator auch von einer externen Quelle angesteuert werden. Damit wird die Strahlsteuerung des REM durch ein externes System, z.B. einem Analysensystem (EDX) oder einem anderen Bildsystem ermöglicht.