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Mrz Zur Erzeugung eines Bildes muss der Elektronenstrahl über die Probe geführt werden. Dies geschieht mit Hilfe der oberen und unteren Rasterspulen, die sich in der Objektivlinse befinden. Der Primärelektronenstrahl wird in X- und Y-Richtung abgelenkt, wobei die horizontale Ablenkung bewirkt, dass der Strahl Zeile für Zeile über die Oberfläche geführt wird und die vertikale Ablenkung die Lage der Zeile bestimmt. Read more
