Außer einem flächenhaften Abrastern mit verschiedenen Formaten kann der Elektronenstrahl innerhalb des Bildfeldes auch als Punkt (Spot) positioniert oder als Linie (Linescan) über die Probenoberfläche geführt werden.
Die Lage des Punktes und die Lage bzw. Länge der Line ist innerhalb des Bildfeldes frei wählbar. Für den einzelnen Punkt bzw. die Punkte der Linie ist die Verweilzeit des Elektronenstrahls (Dwell-Time) voreinstellbar. Sie können einmalig oder zyklisch abgescannt werden.
