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Apr Eine falsche Probenposition führt in erster Linie zu einem Signalverlust bei der Spektrenaufnahme und bei der quantitativen Analyse zur Falschbewertung der Netto- Peakintensitäten und damit zu fehlerhaften Elementkonzentrationen: Read more
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- Abbildung im Niedervakuum-Modus
- Absorbierte Elektronen AbE
- Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler
- Allgemeinwissen Probenpräparation
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- Aufbau der 4-Linsen Säule von TESCAN
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- Auswahl der Standards
- Automatische Partikelsuche / Strukturanalyse
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- InBeam-SE Detektor RE-Detektoren Charakteristische Röntgenstrahlung Kathode Auger-Elektronen Supressor Intermediäre Linse (IML) Dynamischer Fokus Detektor EDX Wehnelt Untersuchungsbedingungen / Anregungsbedingungen Ionenzerstäuberpumpe Scan-Zeit TE-Detektor Astigmatismus Bildverschiebung (Image Shift) TE Emissionsstrom „emission current“ Triglav Turbomolekularpumpen Rückstreuelektronen Plasma Abbildungsmodi Probenoberfläche Kondensorlinse C1 und C2 Probenpräparation Bildroation (Scan Rotation) Resolution Mode SE-Detektoren Ionensäule FIB-REM Vakuum Wolfram Depth Mode Sekundärelektronen Probenvorbereitung Linescan Strahlabbremsung Niedervakuum Strahlstrom „probe current“ InBeam-Detektor Feldemissionskathode Rotationsvakuumpumpe Transmittierte Elektronen Rasterfenster Spray- und Aperturblende Haarnadelkathode Probenposition Automatische Partikelsuche / Strukturanalyse Kohlenstoff Präparations- und Umwelteffekte Transmissionselektronen-Detektor FIB Strahlerzeugung Elektronenstromdichte scharf stellen AE SE Elektronensäule AbE KL Veraschen WideField-Mode Punkt- und Linienabtastung Vakuumsystem Reinigen Rasterung InLens-Detektor Schottky-Emitter Steuerung des Rastergenerators Richtstrahlwert „gun brightness“ Beam Deceleration Mode LVSTD Detektoren REM Backscattered electron EBIC Bilderzeugung Overview Mode Vergrößerung Abbildung der Oberfläche Auflösung Kathodolumineszens Praktischen Anwendungen BSE Analyse BDM Rückstreuelektronen-Detektoren Mapping und Quantmap Sputtern Elektronenquelle Linse Wobbeln 4-Linsen-Säule Dünne Schichten und Schichtsysteme Bedampfung Niedrigvakuum Beschichtung Säule Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler Aktivieren Absorbierte Elektronen InBeam-RE Detektor Wechselwirkung Strah - Probe Probenstrom „absorbed current“ Drehschieberpumpe Molekularpumpe Objektivlinse Abbildung Öldiffusionspumpen Diffusionspumpe Kathodolumineszenz-Detektor Detektoren für absorbierte Elektronen Vakuumpumpe AbE-Detektoren Ionengetterpumpe Untersuchung „dicker“ Proben
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