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Apr Abgesehen von Schliffen ist die Oberfläche der meisten REM-Proben uneben bis stark strukturiert, weil ja gerade in der hohen Tiefenschärfe einer der Vorteile der REM-Abbildung besteht. Die Probenrauigkeit macht sich in den Spektren meist als erhöhter Bremsstrahlungs-Untergrund bemerkbar und führt dadurch zu Fehlern in der quantitativen Auswertung. Durch eine Verkleinerung der bei der Analyse benutzten Vergrößerung lässt sich dieser Fehler minimieren. Read more