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Aufbau der 4-Linsen Säule von TESCAN

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Aufgabe der Säule in einem Elektronenmikroskop ist es, den Strahl so zu formen, dass eine Abbildung der Probenoberfläche gelingt. Zu diesem Zweck wird der Elektronenstrahl von mehreren elektromagnetischen Linsen, Ablenkspulen und Blenden beeinflusst. Die Abbildungsqualität des Mikroskops ist von verschiedenen Parametern des Elektronenstrahls abhängig, wie z.B. Strahldurchmesser, Strahlstrom und Blendenwinkel. Read more