Der dynamische Fokus ist eine automatische Fokusänderung des Elektronenstrahls in Abhängigkeit von der vertikalen Strahlposition (Rasterzeilen-Position).
Er dient zur fokussierten Abbildung von gekippten, ebenen Proben, wenn die Schärfentiefe des abbildenden Elektronenstrahls nicht ausreicht. Dabei wird der Fokus automatisch nachgezogen, um den oberen und unteren Randbereich der Probe scharf abzubilden (Abbildung). Bei Anwendung des dynamischen Fokus darf die abzubildende Fläche nur in Y-Richtung gekippt sein, d.h. die Kippachse der Probe muss horizontal ausgerichtet werden.
Abbildung der dynamischen Fokusregelung