07
Nov Bei der Öldiffusionspumpe expandiert ein Treibdampfstrahl mit Überschallgeschwindigkeit durch eine Düse und gibt dem zu pumpendem Gas (1) eine Vorzugsrichtung. Hieraus ergibt sich eine Druckdifferenz. Read more
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- Abbildung im Niedervakuum-Modus
- Absorbierte Elektronen AbE
- Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler
- Allgemeinwissen Probenpräparation
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- Aufbau der 4-Linsen Säule von TESCAN
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- Auswahl der Standards
- Automatische Partikelsuche / Strukturanalyse
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- Schottky-Emitter Detektor Praktischen Anwendungen Probenstrom „absorbed current“ Vakuumpumpe Kathode Niedrigvakuum Richtstrahlwert „gun brightness“ Feldemissionskathode Kathodolumineszens Linse Probenposition Backscattered electron Sekundärelektronen Resolution Mode WideField-Mode Overview Mode RE-Detektoren Abbildung der Oberfläche Detektoren für absorbierte Elektronen FIB Kathodolumineszenz-Detektor Dynamischer Fokus Probenoberfläche Abbildung Emissionsstrom „emission current“ Transmissionselektronen-Detektor Analyse Strahlstrom „probe current“ Probenpräparation InBeam-RE Detektor Kondensorlinse C1 und C2 KL Elektronenstromdichte SE-Detektoren Rasterung Strahlerzeugung TE-Detektor Bedampfung AbE-Detektoren AE Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler Elektronensäule Strahlabbremsung Wechselwirkung Strah - Probe Turbomolekularpumpen AbE Kohlenstoff Untersuchungsbedingungen / Anregungsbedingungen SE Absorbierte Elektronen Bildverschiebung (Image Shift) Vergrößerung Dünne Schichten und Schichtsysteme Diffusionspumpe Ionenzerstäuberpumpe Reinigen Vakuum BSE Linescan Ionengetterpumpe Rückstreuelektronen-Detektoren TE Triglav Wehnelt Depth Mode Mapping und Quantmap Objektivlinse Aktivieren Detektoren Niedervakuum Astigmatismus Beschichtung Rotationsvakuumpumpe Probenvorbereitung REM Molekularpumpe Vakuumsystem BDM Rückstreuelektronen Rasterfenster Punkt- und Linienabtastung Plasma Haarnadelkathode Wobbeln Auger-Elektronen Bilderzeugung Untersuchung „dicker“ Proben Säule InBeam-Detektor Sputtern EDX 4-Linsen-Säule Ionensäule Veraschen Charakteristische Röntgenstrahlung Transmittierte Elektronen Öldiffusionspumpen EBIC Spray- und Aperturblende Beam Deceleration Mode Präparations- und Umwelteffekte Bildroation (Scan Rotation) Elektronenquelle Intermediäre Linse (IML) Drehschieberpumpe InBeam-SE Detektor Abbildungsmodi Scan-Zeit Auflösung Wolfram scharf stellen FIB-REM InLens-Detektor LVSTD Automatische Partikelsuche / Strukturanalyse Supressor Steuerung des Rastergenerators
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