Ein EBIC-Detektor (Electron Beam Induced Current – Detektor) stellt eine spezielle Form eines Probenstromverstärkers dar, bei dem durch eine entsprechende Kontaktierung die Probe, oder Bereiche der Probe, mit einer einstellbaren Vorspannung (Bias) angesteuert werden können (Abbildung 2). Bei geeigneten Proben ergeben sich durch den EBIC-Effekt (siehe Artikel „Wechselwirkung Strahl-Probe“) Änderungen im gemessenen Probenstrom (EBIC), die durch einen geeigneten Verstärker in ein Spannungssignal (Video) umgewandelt wird und zur Abbildung im REM verwendet werden kann.
Abbildung 2: Schematischer Aufbau eines EBIC-Detektors