Durch zwei weitere Paare Ablenkspulen, die sich ebenfalls in der Objektivlinse befinden, kann das gesamte Rasterfeld geringfügig in X- und Y-Richtung verschoben werden (Image Shift).
Die Größe der Verschiebung ist abhängig von der benutzten Vergrößerung. Insbesondere bei höheren Vergrößerungen kann so das Rasterfeld exakt auf der Probenoberfläche positioniert werden, da dann die Probenverschiebung mittels der mechanischen Tischbewegung oft nur schrittweise und zu ungenau erfolgt.