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Wobbeln

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Da die Elektronen nicht auf einer senkrechten Bahn von der Kathode zur Probe gelangen, sondern sich auf Kreisbahnen abwärts bewegen, kann das Drehzentrum von der elektronenoptischen Achse abweichen. Somit kann es bei der Fokussierung zu einer Bildverschiebung in X- und Y-Richtung kommen.

Das Wobbeln führt zu einer abwechselnden Über- und Unterfokussierung, so dass die Bildverschiebung sichtbar gemacht wird. Mittels der Objektiv-Zentrierung wird der Elektronenstrahl in die elektronenoptische Achse gebracht, bis das Bild bei einer Fokusänderung „steht“ und nur ein pulsieren an einer Stelle beobachtet wird.