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Astigmatismus

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Der Stigmator dient zur Korrektur eines elliptischen Elektronenstrahls. Dieser entsteht durch nicht absolut symmetrische Linsenbohrungen, die wiederum zu einem inhomogenen Magnetfeld führen. Auch Verunreinigungen der Aperturblenden bewirken eine axiale Verschiebung des Elektronenstrahls. Korrigiert wird dies mit Hilfe einer Achtfachspule, die als 2 mal 4 Spulensystem aufgebaut ist. Durch die Spulen wird ein elliptisches Korrekturfeld erzeugt, welches in X- und Y-Richtung wirkt. Einen von Astigmatismus betroffenen Strahl erkennt man an diagonalen Verzerrungen im Bild bei einer Über – bzw. Unterfokussierung (siehe Abbildung 1). Ein kompensierter Astigmatismus führt zu einem Verzerrungsfreien Bild, wie in Abbildung 2 dargestellt.