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Zur Erzeugung eines REM-Bildes muss der Elektronenstrahl über die Probe geführt werden. Dies geschieht mit Hilfe der oberen und unteren Rasterspulen, die sich in der Objektivlinse befinden. Der Primärelektronenstrahl wird in X- und Y-Richtung abgelenkt, wobei die horizontale Ablenkung bewirkt, dass der Strahl Zeile für Zeile über die Oberfläche geführt wird und die vertikale Ablenkung die Lage der Zeile bestimmt (siehe Abbildung).
Dabei erzeugt der Elektronenstrahl in jedem Punkt der Rasterfläche durch Wechselwirkungen mit der Materie der Probenoberfläche Sekundärsignale,
die von geeigneten Detektoren (vgl. Artikel „Detektoren“) in elektrische Signale umgewandelt und als Videosignal auf einem Bildschirm dargestellt werden können.
Das heißt, dass der Elektronenstrahl Pixel für Pixel über die Probenoberfläche geführt wird. Jedem Pixel wird ein Intensitätssignal (Grauwert) zugeordnet. Die Rastergeschwindigkeit hängt von der Verweilzeit des Primärelektronenstrahls pro Pixel und von der Bildgröße (in Pixel) ab. Synchron zur Ablenkung des Elektronenstrahls in der Säule des REM’s erfolgt der Bildaufbau auf dem Monitor.
