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Eine falsche Probenposition führt in erster Linie zu einem Signalverlust bei der Spektrenaufnahme und bei der quantitativen Analyse zur Falschbewertung der Netto- Peakintensitäten und damit zu fehlerhaften Elementkonzentrationen:
- falscher Arbeitsabstand (WD)
- Kippung der gesamten Probe und damit falscher Abnahmewinkel
- Kippung von Teilflächen der Probenoberfläche und damit falscher Abnahmewinkel