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Vakuumsystem

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Die für die Funktion eines Rasterelektronenmikroskops notwendigen Bedingungen zur Erzeugung und Formierung eines Elektronenstrahls und Detektoren, die zur Bilderzeugung eine Hochspannung benutzten, setzen ein Hochvakuum in Säule und Probenkammer voraus, das besser als 10-2 Pa (10-4 mbar) sein muss. Read more