Die vom abbildenden System angegebene Vergrößerung ergibt sich aus dem Verhältnis zwischen der Größe der durch den Elektronenstrahl abgerasterten Fläche auf der Probe (Bildfeld) und der Größe des zur Darstellung des Bildes benutzen Bildfensters (Live REM-Bild-Fenster).
Eine Erhöhung der Vergrößerung erfolgt durch die Verkleinerung der abgerasterten Fläche im REM, während die Darstellungsgröße am Betrachtungsbildschirm gleichbleibt. Mit anderen Worten, je kleiner das Rasterfeld ist,
desto höher ist die Vergrößerung. Wird hinzu die Fensterauflösung, das Bild- oder Druckformat geändert, so ändert ich ebenfalls die Vergrößerung.
Des Weiteren ändert sich die Vergrößerung auch durch die Änderung der Fokusbedingungen des Elektronenstrahls, d.h. durch Variation des Arbeitsabstandes (WD) oder der Beschleunigungsspannung (HV). Die kleinste Vergrößerung erhält man deshalb bei größtem Arbeitsabstand und geringster Beschleunigungsspannung.