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Der LVSTD (Low Vacuum Secondary-electron Tescan Detector) ist die Sonderbauform eines SE-Detektors für Niedrigvakuum-Bedingungen (siehe Artikel „Niedervakuum-Modus“). Die für die Detektorfunktion notwendige Hochspannung (10 kV) am Szintillator und die Kollektorspannung (500 V) können nur angelegt werden, weil sich der Szintillator und Kollektor im Hochvakuum der Probenkammer befinden. Ein niedriges Vakuum führt zu Hochspannungsüberschlägen und verhindert deshalb die Funktion des Detektors. Beim LVSTD befindet sich ein SE Everhart-Thornley Detektor in einem separaten Detektorgehäuse, das mit einer kleinen Turbomolekularpumpe auf Hochvakuum gepumpt wird. Die auf der Probe ausgelösten SE werden durch einen Kollektor mit einer Saugspannung von 150 V in Richtung einer Differentialdruckblende beschleunigt. Während dieser Beschleunigung kollidieren die SE mit den Gasmolekülen und multiplizieren sich selbst. Das elektrostatische Feld, welches vom Szintillator generiert wird, dringt durch die Löcher der Druckblende und zusammen mit dem 500V Potenzial werden die Elektronen fokussiert (Abbildung 3). Die weitere Funktion entspricht dem Szintillationsdetektor nach Everhart-Thornle (siehe Abschnitt „Szintillationsdetektor nach Everhart-Thornley“).

Abbildung 3: Schematische Darstellung des TESCAN LVSTD

Durch den LVSTD-Detektor können auch im Niedervakuumbetrieb, der normalerweise nur den Betrieb von RE-Detektoren gestattet, SE-Signale zur Abbildung der Probenoberfläche benutzt werden.