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07
Apr

DEPTH Modus

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Der DEPTH Modus bietet eine wesentlich erweiterte Tiefenschärfe. In diesem Modus wird die IML Linse eingeschaltet. Read more
21
Apr

Detektorartefakte

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Escape-Peaks, Shelf-Restuntergrund, Tail, Pile-Up-Peaks Read more
15
Apr

Detektoren für absorbierte Elektronen (AbE-Detektoren)

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Die innerhalb der Probe absorbierten Elektronen (AbE) müssen über den Probentisch zur Masse abgeführt werden, um Aufladungen der Probe zu vermeiden.
Bei einem entsprechenden Aufbau des Probentisches kann der abfließende Strom durch empfindliche Messgeräte (Picoamperemeter) als Messgröße angezeigt (Probenstrom – Probe Current) oder zur Bilderzeugung eingesetzt werden.

Probenstrom-Detektor

Der abfließende Probenstrom (AbE) wird durch einen speziellen Probenstromverstärker in ein Spannungssignal umgewandelt und zur Abbildung der unterschiedlich leitfähigen Bereiche der Probe verwendet (Probenstrombild 1).

Abbildung 1: Schematischer Aufbau eines Probenstromverstärkers

21
Apr

Detektorfenster

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Das Strahleneintrittsfenster soll einerseits sehr dünn sein, um wenig Röntgenstrahlung zu absorbieren, es muss andererseits stabil genug sein, um dem atmosphärischem Druck bei der Belüftung der Probenkammer widerstehen zu können. Das Fenster muss Gasdicht sein und darf nur eine sehr geringe Diffusionsrate aufweisen. Heute werden meist sog. Leichtelementfenster benutzt, welche aus einer dünnen Polymerfolie bestehen. Read more
22
Apr

Dünne Schichten und Schichtsysteme

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Obwohl die EDX-Analyse als oberflächenrelevantes Verfahren gilt, muss stets bedacht werden, dass eigentlich auf Grund der physikalischen Gegebenheiten immer eine Volumenanalyse durchgeführt wird, bei der das Maximum der stattfindenden Wechselwirkungsprozesse unterhalb der Oberfläche stattfindet (in Abhängigkeit von der verwendeten Beschleunigungsspannung bis zu mehreren µm). Read more
08
Apr

Dynamischer Fokus

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Der dynamische Fokus ist eine automatische Fokusänderung des Elektronenstrahls in Abhängigkeit von der vertikalen Strahlposition (Rasterzeilen-Position).

Er dient zur fokussierten Abbildung von gekippten, ebenen Proben, wenn die Schärfentiefe des abbildenden Elektronenstrahls nicht ausreicht. Dabei wird der Fokus automatisch nachgezogen, um den oberen und unteren Randbereich der Probe scharf abzubilden (Abbildung). Bei Anwendung des dynamischen Fokus darf die abzubildende Fläche nur in Y-Richtung gekippt sein, d.h. die Kippachse der Probe muss horizontal ausgerichtet werden.

Abbildung der dynamischen Fokusregelung

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