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Bildrotation (Scan Rotation)

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Die elektronische Rotation des Rasterfeldes ermöglicht eine kontinuierliche Drehung der Probenabbildung um 360°, damit können z.B. Probenstrukturen zum Bildrand ausgerichtet werden. Im Gegensatz zur mechanischen Probendrehung bleiben dabei die Bildmitte und der Fokus des Elektronenstrahls erhalten.

Die elektronische Rotation des Rasterfeldes wird auch benutzt, um die Drehung des Bildes auszugleichen, die bei einer Änderung des Arbeitsabstandes auftritt.

Diese entsteht, weil sich die Elektronen auf einer Spiralbahn von der Kathode zur Probe bewegen und somit in Abhängigkeit vom Arbeitsabstand eine andere Raumorientierung haben. Bei modernen Geräten erfolgt dieser Ausgleich automatisch, bei älteren Geräten muss er von Hand erfolgen.

Die Drehung des Rasterfeldes wird erreicht, indem die horizontalen und vertikalen Ablenkspannungen im Rastergenerator dem gewünschten Drehwinkel entsprechend aufeinander gemischt werden.

Bildverschiebung (Image Shift)

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Durch zwei weitere Paare Ablenkspulen, die sich ebenfalls in der Objektivlinse befinden, kann das gesamte Rasterfeld geringfügig in X- und Y-Richtung verschoben werden (Image Shift).

Die Größe der Verschiebung ist abhängig von der benutzten Vergrößerung. Insbesondere bei höheren Vergrößerungen kann so das Rasterfeld exakt auf der Probenoberfläche positioniert werden, da dann die Probenverschiebung mittels der mechanischen Tischbewegung oft nur schrittweise und zu ungenau erfolgt.