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Wurde die Probe mechanisch oder chemisch bearbeitet/verändert, können Spuren dieser Schritte die Analyse verfälschen, indem Elemente gefunden werden, die eigentlich nicht in der Probe enthalten sind:
- Schleif- und Poliermittelreste können in die Probe eingearbeitet worden sein, insbesondere an Kanten und Spalten bei der Verwendung von Einbettmitteln (Al, Si)
- Unsachgemäße Lagerung der Probe an exponierten Plätzen (Staub, Oxydation, Abdampfeffekte)
- Unsachgemäße Handhabung der Probe (Umgebungschemikalien, Berührung der Oberfläche mit der Hand (S, Ca, Na)
- Aufbringung von zusätzlichen Schichten auf die Probenoberfläche (Bedampfung / Besputterung (s.h. Kapitel 7) von C, Au, Ag, Cr )