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Penning-Messröhre – Ionisationsvakuummeter

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Bei Ionisationsvakuummetern wird ein Teil des Restgases im Messraum durch Elektronenstöße ionisiert. Die erzeugten Ladungsträger geben ihre Ladung an die Messelektrode des Systems ab. Der so erzeugte Ionenstrom ist ein Maß für den Druck. Da diese Geräte den Druck über die Teilchenanzahldichte bestimmen, erhält man eine gasartabhängige Druckanzeige. Read more