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Die heute meist verwendete Methode ist die standardfreie EDX-Analyse. Hierbei wird die mitgemessene Bremsstrahlung für die Charakterisierung der notwendigen Referenzwerte ermittelt. Früher galt die Bremsstrahlung als störendes Untergrundphänomen und wurde herausgerechnet. Heute wird diese Zusatzinformation für eine verlässliche Analyse herangezogen.

Bremsstrahlung und charakteristische Röntgenstrahlung sind, bis auf ihren Entstehungsprozess, vom gleichen physikalischen Charakter. Daher löschen sich Absorptionseffekte, Messfehler oder Detektorartefakte gegenseitig aus. Auch ihr Einfluss auf die quantitativen Ergebnisse spielt nur noch eine untergeordnete Rolle.
Hierbei sind keine weiteren Eingaben notwendig, da Fundamentalparameter für die Berechnung nach der P/U-ZAF Methode verwendet werden.

Für die Standardfreie EDX ist eine Korrektur der aufgenommenen Intensitätsverhältnisse notwendig. Durch die Korrektur ist es möglich auf die tatsächliche Zusammensetzung des Materials zu schließen, hier sind hauptsächlich 3 Korrekturen notwendig:

1. Atomnummerkorrektur Z
2. Absorptionskorrektur A
3. Fluoreszenzkorrektur F

Z Ordnungszahl-Korrektur
Der Korrekturfaktor bestimmt die Zahl der Ionisationen pro eingestrahltem Elektron und den Anteil an Rückstreuelektronen, welche aus der Probe austreten ohne Röntgenquanten erzeugt zu haben.

A Absorption
Durch Wechselwirkung mit Festkörperatomen wird ein Teil der erzeugten Röntgenstrahlung absorbiert; der Intensitätsverlust ist von dem in der Probe zurückgelegten Weg und dem Massenschwächungskoeffizienten des Targetmaterials abhängig. Φ(ρz) beschreibt die Verteilung der in der Probe erzeugten Röntgenstrahlung mit der Massentiefe.

F Fluoreszenz
Die Sekundäranregung durch charakteristische und kontinuierliche Fluoreszenz wird in einem gemeinsamen Korrekturfaktor zusammengefasst.

Die heute angewandte Korrekturmethode zur Ermittlung der Elementzusammensetzung ist P/U- ZAF. Hierbei wird mit Hilfe der Peak zu Untergrund Korrektur gearbeitet.