Bei dieser Methode werden die Spektren von unbekannten Proben mit denen bekannter gemessener Proben verglichen. Hierbei werden vollständig gleiche Messbedingungen (Anregung, Geometrie, Detektor) zu Grunde gelegt. Da dies so gut wie unmöglich ist wird auch bei der standardbezogenen Analyse mit Matrix-Korrekturen (ZAF, Φ(pz)), die unterschiedliche Impulszahlen oder andere Elemente usw. korrigieren, gearbeitet. Der große Nachteil dieser Methode ist, dass bei größer werdender Abweichung der Konzentration von der Referenz, der Fehler stetig zunimmt und somit das Ergebnis stark verfälscht.