Die Ionensäule (FIB-Säule) erzeugt und fokussiert den Ionenstrahl. Sie befindet sich oben in der Kammer neben der Elektronensäule (SEM-Säule). Zwischen der FIB- und der REM-Säule liegen 55 Grad Kippwinkel.
Die iFIB+(tm) FIB-Säule besteht unter anderem aus den folgenden Teilen:
Ionenkanone (Ionenquelle) – Hier werden Xenonatome aus der Quelle beschleunigt. Die positiv-geladenen Xe-Ionen werden durch eine Beschleunigung durch ein Potential von 3 kV bis 30 kV in diesem Bereich der Säule auf ihre endgültige kinetische Energie, also Geschwindigkeit, gebracht. Das verwendete Xenon befindet sich innerhalb einer externen Gasdruckflasche und sehr einfach durch einen Flaschentausch schnell durch den Nutzer ausgetauscht werden. Für die iFIB+ verwendet TESCAN 5.1 Xe-Gas für eine stabile Ionenemission.
Kondensor – ist eine starke elektrostatische Linse, die den Ionenstrahl in die Apertur fokussiert. Die Hochspannung der Kondensorlinse kann in der TESCAN ESSENCE Software eingestellt werden. Zusammen mit der Apertur (Stromwahlblende) steuert der Kondensor den Ionenstrahlstrom und beeinflusst die Spotgröße des Ionenstrahls.
Säulenventil – ein Trennventil zwischen der Ionenkanone und dem unteren Teil der Ionensäule.