Der RESOLUTION-Modus ist der Standard- und meist genutzte Abbildungs-Modus. Die IML-Linse ist ausgeschaltet, die OBJ-Linse ist angeregt und fokussiert den Elektronenstrahl.
Abbildung 1: Resolution-Modus
Eigenschaften:
Der RESOLUTION-Modus findet die häufigste Verwendung. In diesem Modus werden die Kondensorlinsen bei ausgeschalteter IML als ‚Zoom Condenser‘ gesteuert, so dass die Objektivlinse den fokussierten Elektronenstrahl mit kleinstmöglichem Strahldurchmesser bei geringem Strahlstrom auf die Probenoberfläche führt, um die höchste Auflösung zu erzielen (siehe
Abbildung 1). Der endgültige Aperturwinkel ist annähernd optimal bei kurzem Arbeitsabstand (i.d.R. wenige mm) und voller Anregung der Kondensorlinsen. Das Anregungsverhältnis der Rasterspulen wird so eingestellt, dass der ‚Pivot‘-Punkt (Scheitelpunkt des Rasterns) nahe der Objektivebene liegt, so dass Randunschärfen, Verzerrung und Größe des Bildfelds optimiert werden. Der Steueralgorithmus beinhaltet dabei die Korrektur der Anregung aller Linsen und Zentrierspulen für eine Änderung der Anregungsspannung über den gesamten Bereich.