Die FIB-Abscheidung ist eine grundlegende FIB-Technik, die für die Materialabscheidung verwendet wird. Das Depositionsmaterial wird vom GIS in Form eines Gases geliefert. Der Ionenstrahl zersetzt Gasmoleküle lokal und lagert nahezu reines Material auf der Probenoberfläche ab. Die Gaseingangsstoffe werden auf Anfrage erworben.
Die folgenden Anweisungen beschreiben den Prozess der Ablagerung mit FIB und GIS:
Die Voraussetzungen:
- Die Probe ist auf dem Probentisch montiert.
- Kammer wird gepumpt
- Das REM ist arbeitsbereit, d.h. richtig fokussiert bei einer Probenkippung von 0° im Scanmodus UH-RESOLUTION
Hinweis: Wenn Sie sich nicht sicher sind, ob die vorherigen Schritte richtig ausgeführt wurden, lesen Sie bitte SEM-Grundlagen Schritt-für-Schritt.
- Erhitzen / Kühlen eines GIS-Vorläufers.
- Setzen Sie die Probenstufe für FIB – kippen Sie die Probenstufe auf 55° und stellen Sie die analytische WD ein.
- Ausrichten des Ionenstrahls – Fokussierung, Blendenzentrierung, Astigmatismuskorrektur.
- Fahren Sie mit der Positionierung des FIB-REM-Schnittpunktes fort.
- Navigieren Sie durch den Probentisch, um das gewünschte Merkmal auf der Probenoberfläche für das Fräsen zu finden.
- Bereiten Sie das hinzuzufügende Objekt vor und starten Sie den Beschichtungsprozess.
- Stellen Sie die Parameter der FIB-Bilderfassung ein – Scangeschwindigkeit, Bildformat und -größe, Infoleiste.
- Erfassen Sie ein Bild und nehmen Sie optional Einstellungen daran vor.
- Beenden Sie die Arbeit mit FIB und GIS – schalten Sie die Emission aus, parken Sie das GIS und stoppen Sie die Heizung / Kühlung des GIS.