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Emissionsstrom „emission current“
Als Emissionsstrom bezeichnet man die Menge der aus der Kathode austretenden Elektronen in Abhängigkeit von der Austrittsfläche. Die Emissionsstromdichte beträgt ca. 1,8A/cm², somit ergibt sich für die Wolfram-REM von Tescan eine Emissionsstromstärke von ca. 300µA.
Als Emissionsstrom bezeichnet man die Menge der aus der Kathode austretenden Elektronen in Abhängigkeit von der Austrittsfläche. Die Emissionsstromdichte beträgt ca. 1,8A/cm², somit ergibt sich für die Wolfram-REM von Tescan eine Emissionsstromstärke von ca. 300µA.
Elektronenstromdichte
Die Elektronenstromdichte ist ein Maß für den Strahlstrom, welcher im Crossover entsteht. Der Strahlstrom ist vom Durchmesser des Crossovers und von der Wehneltspannung abhängig. Da mit zunehmender Wehneltspannung der Durchgriff abnimmt, werden weniger Elektronen abgesaugt, die zum Elektronenstrahl beitragen. Gleichzeitig nimmt der Emissionsstrom ab.
Die Elektronenstromdichte ist ein Maß für den Strahlstrom, welcher im Crossover entsteht. Der Strahlstrom ist vom Durchmesser des Crossovers und von der Wehneltspannung abhängig. Da mit zunehmender Wehneltspannung der Durchgriff abnimmt, werden weniger Elektronen abgesaugt, die zum Elektronenstrahl beitragen. Gleichzeitig nimmt der Emissionsstrom ab.
Richtstrahlwert „gun brightness“
Über den Richtstrahlwert wird die Helligkeit einer Kathode definiert. Dieser ergibt sich aus dem Verhältnis der Stromdichte zum Öffnungswinkel des Crossovers. Für die Wolframgeräte der VEGA-Serie liegt der Richtstrahlwert bei 106 A/cm²sr.
Über den Richtstrahlwert wird die Helligkeit einer Kathode definiert. Dieser ergibt sich aus dem Verhältnis der Stromdichte zum Öffnungswinkel des Crossovers. Für die Wolframgeräte der VEGA-Serie liegt der Richtstrahlwert bei 106 A/cm²sr.
Strahlstrom „probe current“
Der Strahlstrom ist ein Maß für die Anzahl der auf der Probe ankommenden Elektronen. Er ist abhängig von der Emissionsstromdichte, dem Strahldurchmesser, der Beschleunigungsspannung und der Aperturblendenöffnung.
Der Strahlstrom ist ein Maß für die Anzahl der auf der Probe ankommenden Elektronen. Er ist abhängig von der Emissionsstromdichte, dem Strahldurchmesser, der Beschleunigungsspannung und der Aperturblendenöffnung.
Probenstrom „absorbed current“
Die Probe in einem Rasterelektronenmikroskop ist geerdet. Damit werden die Elektronen des Primärelektronenstrahls, die nicht rückgestreut werden, abgeleitet, da es sonst zu Aufladungen kommen würde. Die abgeleiteten Elektronen können als Probenstrom mit einem Picoamperemeter gemessen werden.
Die Probe in einem Rasterelektronenmikroskop ist geerdet. Damit werden die Elektronen des Primärelektronenstrahls, die nicht rückgestreut werden, abgeleitet, da es sonst zu Aufladungen kommen würde. Die abgeleiteten Elektronen können als Probenstrom mit einem Picoamperemeter gemessen werden.