Das Strahleneintrittsfenster soll einerseits sehr dünn sein, um wenig Röntgenstrahlung zu absorbieren, es muss andererseits stabil genug sein, um dem atmosphärischem Druck bei der Belüftung der Probenkammer widerstehen zu können.
Das Fenster muss Gasdicht sein und darf nur eine sehr geringe Diffusionsrate aufweisen. Heute werden meist sog. Leichtelementfenster benutzt, welche aus einer dünnen Polymerfolie bestehen. Auch Fenster aus wenigen µm dicken Beryllium-Scheiben, die meist beschichtet sind, um sie widerstandsfähiger gegen Säuren, Lösungsmittel und Basen zu machen, kommen zum Einsatz.
Der am häufigsten verwendete Fenstertyp sind Polymerfolien. Diese werden zwecks mechanischer Stabilität auf einem Stützgitter aus Silizium gelegt und sind mit Aluminium beschichtet, um den Detektor unempfindlich gegenüber sichtbarem Licht zu machen. Den schematischen Aufbau zeigt die Abbildung 1. Die Transparenz des Stützgitters beträgt ca. 80%. Mit diesem Fenstertyp sind hohe Transmissionsraten bei gleichzeitig niedriger Röntgenenergie möglich.
Abb. 1: Aufbau eines Leichtelement-Fensters