Ähnliche Artikel
Die innerhalb der Probe absorbierten Elektronen (AbE) müssen über den Probentisch zur Masse abgeführt werden, um Aufladungen der Probe zu vermeiden.
Bei einem entsprechenden Aufbau des Probentisches kann der abfließende Strom durch empfindliche Messgeräte (Picoamperemeter) als Messgröße angezeigt (Probenstrom – Probe Current) oder zur Bilderzeugung eingesetzt werden.
Der abfließende Probenstrom (AbE) wird durch einen speziellen Probenstromverstärker in ein Spannungssignal umgewandelt und zur Abbildung der unterschiedlich leitfähigen Bereiche der Probe verwendet (Probenstrombild 1).
Abbildung 1: Schematischer Aufbau eines Probenstromverstärkers