Escape-Peaks entstehen wenn charakteristische Röntgenfluoreszenzstrahlung das Detektormaterial (Silizium) verlässt und die Stärke des gemessenen Signals verringert. Hierbei entstehen im Spektrum kleine Peaks die um 1,75 keV zum Messsignal zu niedriger Energie verschoben sind.
Shelf-Restuntergrund, welcher von der Bremsstrahlung überlagert wird, entsteht durch unvollständige Ladungsträgersammlung. Dies wird durch Ladungsträger verursacht, welche von inaktiven Schichten in das aktive Volumen des Detektors übergehen. Die so entstehenden Impulse sind nicht proportional zur Gesamtzahl der vom Quant erzeugten Ladungsträger.
Tail‘s entstehen auf dieselbe Weise wie Peak-Shelf’s.
Pile-Up-Peaks können bei hohen Impulsraten auftreten. Hierbei werden zwei oder mehr Röntgenquanten innerhalb so kurzer Zeitabstände im Detektor registriert, so dass auch der schnelle Kanal sie nicht mehr unterscheiden kann. Die Höhe des Pile-Up-Peaks steigt mit zunehmender Impulsrate.
Die Effekte Escape, Shelf und Tail werden mit Hilfe von Korrekturfunktionen der Software korrigiert. Pile-Up-Peaks werden mit Hilfe einer speziellen Hardware unterdrückt.