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Der DEPTH Modus bietet eine wesentlich erweiterte Tiefenschärfe. In diesem Modus wird die IML Linse eingeschaltet.
Abbildung: Depth-Modus
Eigenschaften:
– Gute Auflösung
– Sehr hohe Tiefenschärfe
Die Tiefenschärfe ist indirekt proportional zum Aperturwinkel des einfallenden Strahls. In diesem Modus wird die IML effektiv als ‚Aperturblendenwechsler‘ verwendet – die Änderungen ihrer Anregung beeinflussen den Strahl so, dass ein wesentlich kleinerer Aperturwinkel des einfallenden Strahls erreicht werden kann. Das bedeutet, dass das Mikroskop zwar nicht mit bestmöglicher Auflösung arbeitet, der Unterschied in der Auflösung aber bei niedriger bis mittlerer Vergrößerung nicht zu sehen ist. Andererseits ist der Unterschied in der Tiefenschärfe, auch bei kurzen Arbeitsabständen sehr deutlich sichtbar. Dies ist sehr nützlich, wenn Proben mit markanter Oberflächentopographie untersucht werden sollen. Ein Beispiel ist in der Abbildung zu sehen.