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Bei der Öldiffusionspumpe expandiert ein Treibdampfstrahl mit Überschallgeschwindigkeit durch eine Düse und gibt dem zu pumpendem Gas (1) eine Vorzugsrichtung. Hieraus ergibt sich eine Druckdifferenz. Der Treibdampf wird aus dem Treibmittel (5) am Pumpenboden mit Hilfe einer Heizung (6) erzeugt, expandiert durch den vertikal angeordneten Düsenstock (3), kondensiert an der gekühlten Gehäusewand (4) und wird dem Kreislauf wieder zugeführt. Das dabei geförderte Gas wird im Siedebereich wieder freigesetzt und muss durch eine Vorpumpe abgeführt werden (2).
Vorteile der Öldiffusionspumpe sind ihre Robustheit (keine bewegten Teile) und ihr hohes Saugvermögen. Nachteile sind ein hoher Kühlmittelverbrauch und eine Treibmittelrückströmung in den Rezipienten. Die Rückströmung lässt sich durch ein gekühltes Düsenoberteil, gekühlte Blenden oder eine Kühlfalle deutlich reduzieren. Der Enddruck der Diffusionspumpe ergibt sich aus dem Sättigungsdampfdruck, hier befindet sich die flüssige und dampfförmige Phase sich im Gleichgewicht.
Schnitt durch eine Öldiffusionspumpe