Ähnliche Artikel
Eine für die EDX-Messung ideale Probe erfüllt folgende Eigenschaften:
- Polierte Oberfläche
- Ebene Oberfläche, dadurch stets gleicher Kippwinkel zum EDX-Detektor
- Leitfähige Oberfläche
- Gleichmäßige Durchmischung der in der Probe enthaltenen Elemente
- Alle in der Probe enthaltenen Elemente befinden sich oberhalb der Nachweisgrenze
- Keine Überlagerung der Peaks der in der Probe enthaltenen Elemente
In der Praxis werden diese Idealbedingungen selten erreicht, so dass mit Messungenauigkeiten, insbesondere bei der quantitativen Analyse, gerechnet werden muss.
Die in den EDX-Analysensystemen enthaltenen Korrekturmöglichkeiten können nur einen Teil der auftretenden Probleme lösen oder zumindest minimieren.