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Im OVERVIEW Modus wird die Objektivlinse ausgeschaltet und die IML Linse zum fokussieren des Strahls benutzt.
Abbildung: Overview-Modus
Eigenschaften:
– Großes Sichtfeld
– Hohe Tiefenschärfe
– Schlechtere Auflösung
Der Elektronenstrahl wird im OVERVIEW-Modus mit Hilfe der IML und bei abgeschalteter Objektivlinse auf die Probenoberfläche fokussiert. Der endgültige Aperturwinkel des einfallenden Strahls ist sehr klein und die Tiefenschärfe so groß, dass das Bild in praktisch jeder Stellung des Probentisches entlang der Z-Achse fokussiert ist.
Da die Objektivlinse in diesem Fall ausgeschaltet ist, beeinflusst sie den Strahl nicht, so dass dieser durch das Objektiv auch außerhalb des um die Achse liegenden Gebiets durchlaufen kann. Die Lage des ’Pivot’-Punktes ist so eingestellt, dass das größte Bildfeld erreicht wird. Das Bildfeld ist durch die Bohrung des Polschuhs des Objektivs beschränkt und daher deutlich größer als in den Abbildungsmodi RESOLUTION und DEPTH. Die IML-Zentrierspulen werden so angeregt, dass das Bild während der Fokussierung nicht verschoben wird. Der Gleichstromanteil des durch die Rasterspulen fließenden Stroms wird so eingestellt, dass es bei dem Umschalten vom Abbildungsmodus RESOLUTION zum OVERVIEW-Modus zu keiner Verschiebung des dargestellten Bereiches kommt. Der Nachteil dieses Modus ist der große Strahldurchmesser und somit schlechtere Auflösung bei hohen Vergrößerungen. Die maximal anwendbare Vergrößerung beträgt daher nur etwa wenige tausendfach. Dieser Abbildungsmodus wird vor allem dazu verwendet, um große Bildausschnitte von Proben zu untersuchen und mit guter Linearität zu vermessen (siehe Abbildung). Außerdem lassen sich analytische Messungen in diesem Modus großflächig durchführen.