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- Abbildung im Niedervakuum-Modus
- Absorbierte Elektronen AbE
- Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler
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- Aufbau der 4-Linsen Säule von TESCAN
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- BDM Vakuumpumpe Drehschieberpumpe Strahlabbremsung AbE-Detektoren 4-Linsen-Säule Beam Deceleration Mode KL Intermediäre Linse (IML) InBeam-SE Detektor TE Strahlerzeugung Ionensäule Richtstrahlwert „gun brightness“ Wobbeln Rückstreuelektronen Präparations- und Umwelteffekte Probenoberfläche Linse Wechselwirkung Strah - Probe EBIC Kathodolumineszenz-Detektor WideField-Mode Spray- und Aperturblende Elektronenquelle Probenvorbereitung Abweichungen von der Idealprobe und daraus resultierende Analysefehler Analyse Probenstrom „absorbed current“ Detektoren für absorbierte Elektronen Sputtern Bildverschiebung (Image Shift) Säule Abbildung BSE TE-Detektor Wehnelt Overview Mode Strahlstrom „probe current“ AbE scharf stellen Untersuchung „dicker“ Proben REM Auflösung Rasterung Dynamischer Fokus Objektivlinse Ionengetterpumpe Auger-Elektronen Detektor Untersuchungsbedingungen / Anregungsbedingungen Linescan Depth Mode Elektronenstromdichte Ionenzerstäuberpumpe Abbildungsmodi Emissionsstrom „emission current“ InBeam-RE Detektor Bedampfung LVSTD Elektronensäule Aktivieren Kohlenstoff Probenpräparation Öldiffusionspumpen Turbomolekularpumpen Rasterfenster Niedervakuum Veraschen Abbildung der Oberfläche Plasma SE Haarnadelkathode Feldemissionskathode Punkt- und Linienabtastung FIB EDX InBeam-Detektor Beschichtung Praktischen Anwendungen Kathodolumineszens Resolution Mode Bildroation (Scan Rotation) Vakuum Probenposition Molekularpumpe Absorbierte Elektronen Sekundärelektronen Rotationsvakuumpumpe Reinigen Backscattered electron Schottky-Emitter AE RE-Detektoren Steuerung des Rastergenerators Scan-Zeit Automatische Partikelsuche / Strukturanalyse Kathode Vakuumsystem Rückstreuelektronen-Detektoren Mapping und Quantmap Vergrößerung Triglav Dünne Schichten und Schichtsysteme Astigmatismus Bilderzeugung Niedrigvakuum SE-Detektoren Wolfram FIB-REM Transmissionselektronen-Detektor Supressor Diffusionspumpe InLens-Detektor Charakteristische Röntgenstrahlung Kondensorlinse C1 und C2 Detektoren Transmittierte Elektronen
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